概要: 漏れのない基準品(マスタ)を用意、ワーク、マスタに同時に加圧し、 高感度の差圧センサにより漏れによるワーク内の圧力変化をマスタ内の圧力変化との差として検出する。 特徴: 製品に規定圧力を封入し、一定時間後の圧力降下量を判定する。 メリット: 差圧式リーク検査方式と比較して安価である。